Wafer Tilt System

Wafer Tilt System

全球半導體大廠對於機台設備的水平基準、波動與震動,均有高度精準性的要求,以降低wafer破片耗損及刮傷風險 。

汯沅科技 Wafer Tilt System 透過無線藍芽技術,配合獨家軟體應用程式,除能精確測量 Wafer Tilt 和Vibration 的X軸、Y軸、Z軸數據,並能將數據完美記錄,提供log 下載數據。

商品規格及特色

Wafer_Tilt_System_比較圖_汯沅科技
  1. 無線藍芽傳輸可支援5~8M範圍
  2. 材質輕巧便利,不會跟其他測量儀器一樣又大又重
  3. 簡單操作,一般開機關機return,淺顯易懂
  4. Vibration log可提供下載數
  • 螢幕 約105mmX75mmX30mm (110v)
  • 操作鍵盤約 140mmX95mm
  • sensor 約35mmX40mm(電池型號CR2032 )

確認建廠及裝機時Foup 實際傾斜狀態

傳統做法:機台設備定位時需要雷射定位,確認OHT相對位置並align 設備的位置,與 Load port相對位置。

現行做法 : 放置sensor在Load port advance上,或者是Foup上,即可獲得精準數值。

Robot Tilt/Vibration 監控

Robot在作動時,傾斜與震動都對於wafer非常的重要,以降低wafer破片耗損刮傷的風險。如有精確的tilt及vibration 系統,即可把良率控制到最完美的狀態。

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