FFU風壓無線偵測器

FFU風壓無線偵測器

在生產高階半導體製程中,良率(Yeild)是決定工廠收益成效主要的Index ,Wafer在經過千道製程生產中,需要在低污染高控制的環境中生產。

FFU風壓無線偵測器, 可以監測當風壓不穩定所導致污染成因,進而預防因為污染導致晶圓Wafer報廢,並可以預警並與上位系統(IoT)連結,以達到真正的工業4.0管理。

FFU 風速偵測器系統 _1_ 汯沅科技有限公司

測試設備及環境架構

壓差量測 + 風扇轉速停止偵測

常見問題

不會 , 因為UHF 900MHz與各家電信電話900MHz是分開的~在頻譜上是不同的~所以不會互相干擾~如果在機台設備產品旁邊用中華電信撥打而設備產品不會有問題就沒有問題.

仍有其他 無線通訊 或 半導體設備 問題解決方案需求嗎?