何謂e84及
e84運行機制

為何使用e84控制器
Why Use e84 Controller?

e84控制器的目的,是為了協助半導體工廠,解決大尺寸晶圓遷移的問題。未來的半導體工廠,將廣泛的使用自動化材料處理系統 (AMHS) ,來轉移重量不斷增加的晶圓載體,包括FOUP 和開放式盒子。

因此為了更好地定義,生產設備和 AMHS 之間的並行輸入/輸出 (PI/O)控制信號,以便在生產設備裝載端口實現更可靠和高效的載體切換(裝載/卸載),e84控制器於是出現。

e84控制器的目的,主要是增強 SEMI E23 中定義的並行 I/O 接口的能力,以支持提高載波傳輸的可靠性和效率。增強的能力包括連續切換、同時切換和接口錯誤檢測能力。

e84控制器,是隨著時代的需求演進而來的通訊設備,負責溝通自動物料搬運 (OHT /AGV/AMR)與 設備 (EQ)

本說明文件目錄
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    e84_控制器_介紹說明_e84_Controller_Introduction_3

    e84 控制器 交握信號定義

    以下說明e84控制器,增強型載波切換並行 I/O 接口所需的信號。

    在此定義了信號名稱及信息的方向(P/A:P 代表被動端_設備端,A 代表主動端_傳送設備 )

    • VALID             Indicates that the signal transition is active and selected
    • CS_0              Carrier Stage 0
    • CS_1              Carrier Stage 1
    • TR_REQ         Transfer Request
    • L_REQ            Load Request
    • U_REQ           Unload Request
    • READY           READY for Transfer
    • BUSY              BUSY for Transfer
    • COMPT           Complete Transfer
    • CONT              Continuous Handoff
    • HO_AVBL        Handoff Available
    • ES                    Emergency Stop
    • VA                    Vehicle arrived
    • AM_AVBL        Transfer Arm Available
    • VS_0                Carrier Stage 0 from Passive OHS Vehicle
    • VS_1                Carrier Stage 1 from Passive OHS Vehicle
    e84_控制器_介紹說明_e84_Controller_Introduction_4

    e84 控制器 交握時序圖

    e84 單次切換序列
    (加載/卸載)

    所示的順序是:

    1.AMHS設備到達負載端口前的切換位置後,AMHS設備通過CS_0和CS_1指定AMHS將負載端號碼切換到機台設備的負載端口號。

    2.AMHS設備打開 VALID 信號。說明 CS_0 和 CS_1 的信號有效。
       註 1:在AMHS設備將 VALID 信號打開後,機台設備才驗證 CS_0 或 CS_1 信號是否為 ON,這表示接口通信有效。

    3.如果負載端口準備好執行上貨操作,則機台設備打開L_REQ信號,如果機台設備準備好執行下貨操作,則打開U_REQ信號。

    4.為了請求機台設備開始上下貨切換操作,AMHS打開TR_REQ信號。

    5.當機台設備準備好進行上下貨切換時,機台設備打開READY信號。

    6.確認READY信號為ON後, AMHS設備將BUSY信號置ON,開始切換操作。

    7.當載體正確放置在負載端口上時(當負載端口上的載體被移除時),機台設備關閉L_REQ(U_REQ)信號。

    8.加載或卸載操作完成後,在AMHS設備離開切換衝突區後, AMHS設備將BUSY信號置OFF。 AMHS設備必須確認 L_REQ 信號(U_REQ 信號)在 BUSY 信號關閉之前關閉。

    9.AMHS設備在BUSY OFF 後關閉TR_REQ 信號。

    10.AMHS設備打開COMPT信號,通知機台設備切換操作完成。  
         註 2:如果機台設備驗證 BUSY 和 TR_REQ 信號為 OFF,則只有在AMHS設備打開 COMPT 信號後才驗證這些信號,這表示AMHS設備已完成切換操作。

    1. 確認AMHS設備打開COMPT信號後, AMHS設備關閉READY信號。
    2. READY 信號關閉後, AMHS設備關閉 COMPT、VALID、CS_0 和 CS_1 信號。
    3. 當 VALID 信號關閉時,與AMHS設備的交握關閉。

          註 3:如果機台設備檢查 COMPT、VALID 和 CS_0 或 CS_1 信號,它應該允許信號以任何順序關閉而不報告錯誤

    SEMI-Standard e84 PIO
    標準規範 設備端接線(母頭)定義

    e84不同廠牌交握測試影片

    • Master: Cantops E84 IMAN
    • Slave: Hokuyo _ DMJ-HB1-Z50
    • 控制器:汯沅科技
    • 交握軟體: 汯沅科技
    • 測試結果: Hokuyo-Cantops E84 sensor可互相交握
      註: 實際交握狀況需依現場型號驗證測試為主
    • Master: Cantops E84 PIO
    • Slave: Hokuyo-DMS-HB1-V
    • 控制器:汯沅科技
    • 交握軟體: 汯沅科技
    • 測試結果: Hokuyo-Cantops E84 sensor可互相交握
      註: 實際交握狀況需依現場型號驗證測試為主

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